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碳方程新材料公司在CVD長(zhǎng)晶設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)上形成了完善的設(shè)備及產(chǎn)品體系,并且在CVD金剛石實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)工藝研發(fā)上取得了突破性的進(jìn)展,以“設(shè)備+工藝”為方針,相互引導(dǎo),相互依托,以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石,共筑”MPCVD”生產(chǎn)技術(shù)藍(lán)圖。

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碳方程公司產(chǎn)品

MPCVD 設(shè)備-碳方程

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碳方程

TFC-50200A

碳方程50200A MPCVD設(shè)備采用915MHZ的微波頻率及50KW運(yùn)行功率,該設(shè)備單爐可生產(chǎn)8英寸多晶產(chǎn)品,若用于生產(chǎn)單晶金剛石,單爐能夠穩(wěn)定產(chǎn)出多達(dá)489 片尺寸為 7*7mm的單晶金剛石,具有高可靠性、穩(wěn)定運(yùn)行、無人值守的安全聯(lián)鎖性能,極大地提高了生產(chǎn)效率,此設(shè)備旨在解決大尺寸金剛石的生長(zhǎng)、高沉積速率的難題。

50200A特性.jpg


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