近日，碳方程半導體設備制造（山西）有限公司在技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域取得重要突破，一項名為 “一種 MPCVD 籽晶擺放裝置” 的專利成功獲得國家知識產(chǎn)權(quán)局授權(quán)。

該專利成果聚焦于 MPCVD 籽晶擺放這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)，旨在解決傳統(tǒng)籽晶擺放過程中效率低、精度差以及操作復雜等難題。其核心設計包括獨特的支撐板結(jié)構(gòu)，支撐板上部不僅設有可升降的樣品臺，還創(chuàng)新性地滑動連接了夾爪安裝架。夾爪安裝架上配備了固定夾爪和活動夾爪，以及專門的鉬盤，并且增設了多種型號的籽晶定位盤。

在實際應用中，操作人員只需將籽晶放置在定位盤的單元格內(nèi)，無需像以往那樣進行繁瑣的多次調(diào)整，即可輕松實現(xiàn)籽晶的精準定位。定位盤的多樣化設計能夠適配不同尺寸的籽晶，極大地拓寬了裝置的適用性，無論是何種規(guī)格的籽晶，都能在該裝置上實現(xiàn)快速、精確的擺放。這不僅保證了籽晶擺放的高質(zhì)量，而且大幅節(jié)省了時間成本，顯著降低了人工操作的難度。

此次新專利的獲得，無疑是對碳方程公司在半導體設備制造技術(shù)研發(fā)道路上的一座重要里程碑，標志著公司在提升生產(chǎn)效率、優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量以及降低生產(chǎn)成本等方面邁出了堅實的步伐，為推動半導體設備制造行業(yè)的技術(shù)進步貢獻力量，也為公司未來的持續(xù)發(fā)展和技術(shù)創(chuàng)新奠定了堅實的基礎。