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碳方程新材料公司在CVD長(zhǎng)晶設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)上形成了完善的設(shè)備及產(chǎn)品體系,并且在CVD金剛石實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)工藝研發(fā)上取得了突破性的進(jìn)展,以“設(shè)備+工藝”為方針,相互引導(dǎo),相互依托,以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石,共筑”MPCVD”生產(chǎn)技術(shù)藍(lán)圖。

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全球最大單晶金剛石襯底問世,半導(dǎo)體行業(yè)再迎重大突破!

  • 作者:碳方程新材料(山西)有限公司
  • 類別:行業(yè)新聞
  • 更新時(shí)間:2025-02-21 15:01:36
  • 瀏覽量:19人閱讀

2月13日,日本EDP公司宣布成功研制出全球最大尺寸的單晶金剛石襯底,尺寸達(dá)到了32×31.5mm。這一里程碑式的突破,無疑為金剛石材料在半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)領(lǐng)域以及熱管理等多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域的應(yīng)用開啟了全新的篇章。

金剛石因其卓越的物理特性被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體材料”,與傳統(tǒng)硅材料相比,金剛石的熱導(dǎo)率高達(dá)2200 W/m·K,幾乎是硅的五倍,這一卓越的熱導(dǎo)率特性,使得金剛石在高功率密度和高頻電子器件中展現(xiàn)出無與倫比的散熱能力,為設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行提供了堅(jiān)實(shí)的保障。

金剛石的禁帶寬度達(dá)到5.5 eV,遠(yuǎn)超碳化硅和氮化鎵,這意味著,即使在極端高電壓的環(huán)境下,金剛石也能保持出色的穩(wěn)定性和效率,從而極大地降低了能量損耗,為高效能源利用開辟了新的道路。


然而,盡管金剛石擁有如此眾多的優(yōu)勢(shì),但由于材料合成與加工技術(shù)的復(fù)雜性,制備出大尺寸的單晶金剛石一直是制約其廣泛應(yīng)用的技術(shù)瓶頸。


日本EDP公司在金剛石半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的研發(fā)成果和歷史進(jìn)展如下:


1、大尺寸單晶金剛石基板的開發(fā):

2023年8月,EDP公司成功開發(fā)了高濃度硼摻雜的金剛石基板,并實(shí)現(xiàn)了其商品化。這些基板包括低電阻自支撐金剛石基板和外延生長(zhǎng)基板,尺寸限制在7mm×7mm,但通過11月推出的15x15mm單晶,成功擴(kuò)大了低電阻基板的面積,實(shí)現(xiàn)了商品化。

2024年10月,EDP公司進(jìn)一步開發(fā)了更大尺寸的單晶,尺寸達(dá)到10x10mm、0.2x0.3mm、12.5x12.5mm等,基本特性與2023年8月產(chǎn)品一致。


2、高濃度硼摻雜金剛石基板的應(yīng)用:

這些高濃度硼摻雜的金剛石基板主要用于功率電子器件,具有優(yōu)異的電氣性能和熱耐受性,適用于大功率、穩(wěn)定電源的應(yīng)用場(chǎng)景,如電動(dòng)汽車、飛行汽車和發(fā)電站等。

碳方程介紹

碳方程,主要從事第三、四代半導(dǎo)體材料專用設(shè)備的研發(fā)與制造,其核心業(yè)務(wù)為金剛石半導(dǎo)體材料所需的MPCVD長(zhǎng)晶設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。公司致力于完善金剛石大尺寸材料的加工工藝及相關(guān)配套設(shè)備,旨在實(shí)現(xiàn)核心設(shè)備的自主化與產(chǎn)業(yè)化,以推動(dòng)整個(gè)行業(yè)的快速發(fā)展。

截止目前,公司已成功研發(fā)出6KW/10KW/15KW等MPCVD長(zhǎng)晶設(shè)備并大批量應(yīng)用于金剛石行業(yè),與此同時(shí),公司在技術(shù)創(chuàng)新上持續(xù)深耕,2024年已順利推出915MHZ MPCVD設(shè)備,并小批量出貨。

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