根據(jù) Orbray 官網(wǎng)的消息稱，Orbray 開(kāi)發(fā)出了世界上最大的自立單晶（111）金剛石襯底的生產(chǎn)技術(shù)，尺寸為 20mm × 20mm。這一成果標(biāo)志著公司在推進(jìn)基于金剛石的量子器件和功率器件方面邁出了重要一步。

Orbray公司的目標(biāo)是到 2026 年實(shí)現(xiàn)大型（111）金剛石襯底的商業(yè)化，同時(shí)還在積極開(kāi)發(fā) n 型自立金剛石襯底，這是金剛石半導(dǎo)體器件成為主流的關(guān)鍵組成部分。

金剛石半導(dǎo)體因其卓越的性能而被廣泛應(yīng)用。近年來(lái)，為滿足日益增長(zhǎng)的行業(yè)需求，在增大金剛石襯底尺寸和提高其質(zhì)量方面取得了重大進(jìn)展。高質(zhì)量 (111) 金剛石襯底在開(kāi)發(fā)含有氮空位（NV）中心的金剛石量子器件方面引起了特別的興趣。此外，(111) 金剛石襯底不僅被認(rèn)為是量子應(yīng)用的關(guān)鍵，也是實(shí)現(xiàn)高性能 n 型金剛石器件（包括金剛石功率器件）的關(guān)鍵。然而，制造大型（111）金剛石襯底十分困難，而且成功率有限。迄今為止，只能獲得約 3 毫米見(jiàn)方的小尺寸 (111) 金剛石晶體。此外，這些晶體容易出現(xiàn)被稱為孿晶的缺陷，給生產(chǎn)大直徑單晶金剛石襯底帶來(lái)了巨大挑戰(zhàn)。

在 2021 年 9 月 9 日的新聞稿中，Orbray公司宣布利用其專有的 Step-Flow 生長(zhǎng)法成功開(kāi)發(fā)出了高質(zhì)量、直徑為 2 英寸的 (100) 自立式金剛石襯底（產(chǎn)品名稱：KENZAN Diamond?）。在這一金剛石晶體生長(zhǎng)技術(shù)的基礎(chǔ)上，公司利用專門設(shè)計(jì)的藍(lán)寶石襯底，推進(jìn)了 (111) 單晶金剛石自立襯底的開(kāi)發(fā)。

這項(xiàng)工作最終成功合成了 20 毫米見(jiàn)方、無(wú)孿生缺陷的 (111) 單晶金剛石自立基底。Orbray計(jì)劃在 2026 年之前將這項(xiàng)技術(shù)商業(yè)化。這一進(jìn)步有望推動(dòng)金剛石半導(dǎo)體器件的發(fā)展。