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碳方程新材料公司在CVD長(zhǎng)晶設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)上形成了完善的設(shè)備及產(chǎn)品體系,并且在CVD金剛石實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)工藝研發(fā)上取得了突破性的進(jìn)展,以“設(shè)備+工藝”為方針,相互引導(dǎo),相互依托,以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石,共筑”MPCVD”生產(chǎn)技術(shù)藍(lán)圖。

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HTHP與CVD技術(shù)引領(lǐng)人造金剛石產(chǎn)業(yè)未來(lái)

  • 作者:碳方程新材料(山西)有限公司
  • 類(lèi)別:行業(yè)新聞
  • 更新時(shí)間:2025-01-10 17:30:54
  • 瀏覽量:70人閱讀

當(dāng)前,人造金剛石產(chǎn)業(yè)正站在時(shí)代的風(fēng)口,HTHP(高溫高壓法)和CVD(化學(xué)氣相沉積法)作為兩大核心生產(chǎn)技術(shù),自具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),如何實(shí)現(xiàn)兩個(gè)行業(yè)的協(xié)同發(fā)展?

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01

·HTHP和CVD的現(xiàn)狀與特點(diǎn)·

01

HTHP技術(shù)

原理:以石墨粉、金屬觸媒粉末為原料,通過(guò)電流加熱和液壓裝置建立高溫、高壓環(huán)境,模擬天然金剛石結(jié)晶和生長(zhǎng)環(huán)境,使石墨發(fā)生相變形成金剛石晶體。


優(yōu)勢(shì):技術(shù)成熟、合成速度快、單次產(chǎn)量高、制造成本相對(duì)較低,適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn),國(guó)內(nèi)應(yīng)用廣泛且在全球具備明顯優(yōu)勢(shì)。特別是在1-5ct培育鉆石合成方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。


應(yīng)用:主要用于工業(yè)金剛石的生產(chǎn),如鉆頭、磨具等工具,以及在珠寶行業(yè)中用于生產(chǎn)較小的培育鉆石。


現(xiàn)狀:據(jù)《培育鉆石產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書(shū)(2024 年)》顯示,2023年中國(guó)培育鉆石毛坯產(chǎn)量超過(guò)2200萬(wàn)克拉,占全球總產(chǎn)量的70%,其中大部分是采用HTHP法生產(chǎn)。在零售端,人造鉆石正在逐漸改變消費(fèi)者的購(gòu)買(mǎi)習(xí)慣,成為越來(lái)越多人購(gòu)買(mǎi)鉆戒的選擇。

02

CVD技術(shù)

原理:在高溫低壓條件下,通過(guò)一定的方法激活含碳?xì)怏w(甲烷、氫氣、氮?dú)獾龋?,使其中的碳原子從碳源氣體剝離并在合適的基底上進(jìn)行過(guò)飽和沉積,從而獲得高純度、高性能的金剛石。


優(yōu)勢(shì):能夠制備純度較高、尺寸較大的金剛石顆粒和金剛石膜。隨著技術(shù)的進(jìn)步,可以工業(yè)化生產(chǎn)的尺寸顯著擴(kuò)大,應(yīng)用價(jià)值持續(xù)提升。


應(yīng)用:主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,如制備高功率、高頻、高溫及低功率損耗電子器件。此外,CVD法也在珠寶行業(yè)中用于生產(chǎn)較大的培育鉆石。


現(xiàn)狀:美國(guó)DF制造出全球首塊100mm單晶金剛石晶圓,展示了CVD法在大尺寸金剛石晶圓制備方面的潛力。


HTHP與CVD技術(shù)的協(xié)同發(fā)展,將為人造金剛石產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的增長(zhǎng)點(diǎn)和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。兩個(gè)行業(yè)可以實(shí)現(xiàn)進(jìn)可攻退可守的戰(zhàn)略布局,共同引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)邁向新格局。

02

·碳方程MPCVD設(shè)備生產(chǎn)流程·

01

晶籽準(zhǔn)備

挑選高質(zhì)量的晶籽,通過(guò)嚴(yán)格的清洗程序,確保晶籽表面無(wú)任何雜質(zhì)和污染物。同時(shí)利用顯微鏡等精密工具,對(duì)晶籽進(jìn)行細(xì)致檢查,確保其表面光潔,無(wú)多晶或其他缺陷。


02

放入自主研發(fā)的MPCVD設(shè)備中生長(zhǎng)

將清洗并檢驗(yàn)合格的晶籽置于碳方程自主研發(fā)的MPCVD設(shè)備中,通過(guò)精確控制溫度、壓力、氣體成分等關(guān)鍵參數(shù),啟動(dòng)鉆石的精細(xì)生長(zhǎng)過(guò)程。


03

毛坯鉆石生長(zhǎng)中

在低壓高溫下,氣體會(huì)分裂出一個(gè)個(gè)碳的等離子體,到“種子鉆石”上,經(jīng)過(guò)數(shù)周的生長(zhǎng),鉆石毛坯逐漸成形,達(dá)到我們所需的厚度。碳方程50200A MPCVD設(shè)備單次可以生長(zhǎng)8英寸多晶產(chǎn)品,若用于生長(zhǎng)單晶金剛石時(shí),單爐可生長(zhǎng)489粒(7*7MM)。


04

毛坯鉆石的修整

生長(zhǎng)的鉆石邊緣會(huì)有多晶,此時(shí)需切除其黑色多晶邊緣,確保毛坯的純凈度。


05

嚴(yán)格質(zhì)檢

鉆石毛坯進(jìn)入嚴(yán)格的質(zhì)檢環(huán)節(jié),包括顏色、凈度、切工、尺寸等多方面的全面檢查。只有通過(guò)嚴(yán)苛質(zhì)檢的鉆石毛坯,才能被認(rèn)定為合格產(chǎn)品。


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