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碳方程新材料公司在CVD長晶設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)上形成了完善的設(shè)備及產(chǎn)品體系,并且在CVD金剛石實驗室生長工藝研發(fā)上取得了突破性的進展,以“設(shè)備+工藝”為方針,相互引導,相互依托,以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石,共筑”MPCVD”生產(chǎn)技術(shù)藍圖。

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金剛石芯片:半導體發(fā)展進程的又一重要里程碑

  • 作者:碳方程新材料(山西)有限公司
  • 類別:行業(yè)新聞
  • 更新時間:2025-02-21 10:56:03
  • 瀏覽量:48人閱讀



近日,格拉斯哥大學研究人員主導的一項研究取得了里程碑式的進展,有望助力創(chuàng)造用于高功率電子產(chǎn)品的新一代金剛石晶體管。


此前,技術(shù)發(fā)展存在諸多局限,而新型金剛石晶體管成功克服了這些問題,讓這類設(shè)備更接近在依賴高功率系統(tǒng)的眾多行業(yè)中實現(xiàn)實際應(yīng)用。


研究團隊找到了一種全新方法,以金剛石作為晶體管的基礎(chǔ),實現(xiàn)了晶體管默認處于關(guān)閉狀態(tài)。這一突破對于確保開啟時可承載大量電流的設(shè)備的安全性至關(guān)重要。


鉆石具備一種名為寬帶隙的固有特性,這意味著它能承受比硅(大多數(shù)晶體管的常用材料)高得多的電壓,才會發(fā)生電擊穿。在電力電子應(yīng)用領(lǐng)域,這表明由鉆石這類材料制成的晶體管,能夠承受比硅晶體管高得多的電壓,進而提供更高的功率。


該團隊研發(fā)的金剛石晶體管,可應(yīng)用于對電壓要求高且高度注重效率的領(lǐng)域,比如電網(wǎng)或電動汽車。


這項研究由格拉斯哥大學詹姆斯瓦特工程學院的戴維?莫蘭教授帶領(lǐng)團隊完成,合作伙伴來自澳大利亞皇家墨爾本理工大學和美國普林斯頓大學,研究成果發(fā)表于《先進電子材料》雜志。


莫蘭教授表示:“晶體管本質(zhì)上是控制電流的開關(guān)。計算機、智能手機等設(shè)備會使用數(shù)十億個微小的硅基晶體管,它們耗電量極少;而電力電子設(shè)備使用的開關(guān)數(shù)量少得多,但功率水平卻高得多。電力電子面臨的挑戰(zhàn)在于,開關(guān)的設(shè)計既要在不使用時保持牢固關(guān)閉以符合安全標準,開啟時又必須能提供非常高的功率。此前最先進的金剛石晶體管,往往只能擅長其中一種功能,而犧牲另一種功能 —— 開關(guān)擅長保持關(guān)閉狀態(tài),卻不太擅長按需提供電流,反之亦然。我們成功設(shè)計出了在兩種功能上都表現(xiàn)出色的金剛石晶體管,這是一個重大突破。”


在格拉斯哥大學詹姆斯瓦特納米制造中心,研究小組運用表面化學技術(shù)來提升金剛石的性能,先給金剛石涂上氫原子,然后再涂覆氧化鋁層。

他們研發(fā)的金剛石晶體管需要 6 伏電壓才能開啟,是之前金剛石晶體管的兩倍多,同時在激活時仍能輸出大電流。此外,他們還提高了電荷在器件中的移動效率,性能比傳統(tǒng)金剛石晶體管提升了一倍。從實際應(yīng)用角度來看,這意味著電荷能在器件中更自由地移動,從而提高了器件的效率。當設(shè)備關(guān)閉時,其電阻極高,測量結(jié)果低于實驗室設(shè)備的本底噪聲,這意味著設(shè)備關(guān)閉時幾乎沒有電流泄漏,這是高功率應(yīng)用的關(guān)鍵安全特性。


莫蘭教授還補充道:“這些成果確實令人振奮,讓金剛石晶體管比以往任何時候都更接近發(fā)揮其潛力。金剛石是一種常被人們與奢侈品聯(lián)系在一起的材料,但其生產(chǎn)成本卻出奇地低。不過,在金剛石晶體管準備好被制造業(yè)廣泛推廣之前,仍有一些挑戰(zhàn)亟待解決。我們期望我們的研究能在未來幾年推動金剛石晶體管在各個行業(yè)的應(yīng)用。”

產(chǎn)業(yè)化進程的關(guān)鍵支持

在金剛石半導體產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)鏈條中,大尺寸晶圓制備設(shè)備是核心瓶頸。碳方程最新研發(fā)推出的 50200A MPCVD設(shè)備助力金剛石行業(yè)發(fā)展:


技術(shù)參數(shù):采用50KW大功率微波源(915MHz頻率),單爐可穩(wěn)定生產(chǎn)8英寸多晶金剛石熱沉片,或489片7×7mm單晶金剛石。

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量產(chǎn)突破:該設(shè)備通過小批量試生產(chǎn)驗證,解決了傳統(tǒng)金剛石材料尺寸過小的限制,為英寸級晶圓的商業(yè)化應(yīng)用奠定基礎(chǔ),推動金剛石在功率器件、光學元件等領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用。

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