12月17日消息，據(jù)EEnews Europe報(bào)道，西班牙政府已獲得歐洲委員會(huì)的批準(zhǔn)，將向總部位于美國(guó)加利福尼亞州舊金山人造金剛石廠商Diamond Foundry的西班牙子公司 Diamond Foundry Europe 提供8100萬(wàn)歐元的補(bǔ)貼，以支持其斥資8.5億美元在西班牙特魯希略（Trujillo）建造一座金剛石晶圓廠的計(jì)劃。

歐盟委員會(huì)表示，已批準(zhǔn)8100萬(wàn)歐元（約8500萬(wàn)美元）的補(bǔ)貼，總投資至少約為6.75億歐元（約 7 億美元）。

2025年開(kāi)始量產(chǎn)

Diamond Foundry表示，已于2023年上半年動(dòng)工的Trujillo晶圓廠計(jì)劃在 2025年開(kāi)始生產(chǎn)單晶金剛石芯片，該工廠的總產(chǎn)量將達(dá)到1000萬(wàn)克拉，為傳統(tǒng)鉆石買家和半導(dǎo)體行業(yè)提供服務(wù)。

Trujillo 晶圓廠將使用該公司的等離子體反應(yīng)器技術(shù)生產(chǎn)人造金剛石晶片，并將成為世界上首批完全由太陽(yáng)能供電的工業(yè)項(xiàng)目之一。Diamond Foundry正計(jì)劃在晶圓廠周圍的土地上安裝 120MW 太陽(yáng)能發(fā)電裝置。

資料顯示，金剛石半導(dǎo)體具有超寬禁帶(5.45eV)、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)(10MV/cm)、高載流子飽和漂移速度、高熱導(dǎo)率(2000W/m·k)等材料特性，以及優(yōu)異的器件品質(zhì)因子(Johnson、Keyes、Baliga)，采用金剛石襯底可研制高溫、高頻、大功率、抗輻照電子器件，克服器件的“自熱效應(yīng)”和“雪崩擊穿”等技術(shù)瓶頸。

此外，金剛石擁有優(yōu)異的物理特性，在光學(xué)領(lǐng)域具有良好透光性和折射率，適用于光電器件的研發(fā)；電學(xué)方面，其絕緣性能和介電常數(shù)使其在復(fù)雜電路中發(fā)揮穩(wěn)定作用；機(jī)械性能方面，高強(qiáng)度和耐磨性確保芯片能夠承受極端工作條件。

Diamond Foundry

Diamond Foundry成立于2012年，業(yè)務(wù)涉及珠寶和奢侈品市場(chǎng)以及半導(dǎo)體行業(yè)。Diamond Foundry將使用其擁有專利的CVD（化學(xué)氣相沉積）方法進(jìn)行生產(chǎn)。工廠內(nèi)的168臺(tái)等離子反應(yīng)器預(yù)計(jì)于2025年上半年開(kāi)始首期生產(chǎn)，并于2027年底全面投入運(yùn)營(yíng)，預(yù)計(jì)年產(chǎn)量超過(guò)200萬(wàn)克拉。生產(chǎn)的培育鉆石大部分將用于汽車、5G通信等行業(yè)的應(yīng)用，小部分用于珠寶行業(yè)。

2022年，Diamond Foundry收購(gòu)了德國(guó)的Audiatec公司，該公司25年來(lái)一直致力于合成單晶鉆石的獨(dú)特科學(xué)挑戰(zhàn)。

2023年10月2日，Diamond Foundry宣布制造出了世界上第一塊單晶金剛石晶圓。這塊金剛石晶圓直徑100毫米，重量110克拉，具備極高的導(dǎo)熱性和電絕緣性。據(jù)該公司稱，是使用一種稱為異質(zhì)外延的工藝來(lái)沉積碳原子，并在可擴(kuò)展的基底上進(jìn)行制造。Diamond Foundry表示，下一個(gè)目標(biāo)是降低金剛石晶圓的缺陷密度，以實(shí)現(xiàn)比硅高17200倍、比碳化硅高60倍的品質(zhì)因數(shù)。

無(wú)論是國(guó)際巨頭Diamond Foundry還是中國(guó)本土企業(yè)，都在積極投身這一領(lǐng)域的發(fā)展，共同推動(dòng)金剛石晶圓技術(shù)的創(chuàng)新與應(yīng)用。此外，我國(guó)政府也已高度重視金剛石等超硬材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，出臺(tái)支持政策。

關(guān)于碳方程

近年來(lái)，中國(guó)金剛石晶圓企業(yè)積極引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，加強(qiáng)自主研發(fā)，不斷提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。其中，碳方程近年來(lái)不斷加大研發(fā)資源的投入，全力聚焦于大尺寸金剛石材料相關(guān)設(shè)備核心技術(shù)壁壘的攻克。

目前，金剛石無(wú)論是單晶片還是多晶片，都受限于產(chǎn)品尺寸太小。真正商業(yè)化應(yīng)用需要英寸級(jí)大面積晶圓?，F(xiàn)在金剛石的異質(zhì)外延法和馬賽克拼接法都逐步成熟，加以6~8inc的生長(zhǎng)設(shè)備的輔助，相信我國(guó)的英寸級(jí)金剛石材料也將得到快速發(fā)展。

而碳方程最新發(fā)布的50200A MPCVD 設(shè)備在大尺寸金剛石生產(chǎn)方面取得了重大突破，該設(shè)備采用915MHZ的微波頻率，單爐可生產(chǎn)8英寸多晶產(chǎn)品，若用于生產(chǎn)單晶金剛石，單爐能夠穩(wěn)定產(chǎn)出多達(dá) 489 片尺寸為 7*7mm 的單晶金剛石。設(shè)備運(yùn)行功率方面，采用50KW大功率裝置，達(dá)到大尺寸金剛石的量產(chǎn)條件。

在當(dāng)前的小批量試生產(chǎn)階段，該設(shè)備已成功驗(yàn)證其卓越性能，所生產(chǎn)的 8 英寸熱沉片在關(guān)鍵性能指標(biāo)上表現(xiàn)卓越，達(dá)到了行業(yè)前沿水平，為推動(dòng)金剛石的大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)以及拓展大尺寸材料的廣泛應(yīng)用奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，有望在金剛石材料產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局中占據(jù)重要的一席之地，進(jìn)一步助力中國(guó)在金剛石晶圓領(lǐng)域邁向新的高峰。

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