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碳方程新材料公司在CVD長(zhǎng)晶設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)上形成了完善的設(shè)備及產(chǎn)品體系,并且在CVD金剛石實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)工藝研發(fā)上取得了突破性的進(jìn)展,以“設(shè)備+工藝”為方針,相互引導(dǎo),相互依托,以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石,共筑”MPCVD”生產(chǎn)技術(shù)藍(lán)圖。

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碳方程公司產(chǎn)品

公司產(chǎn)品-碳方程

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TFC-50200A

TFC-50200A

碳方程50200A MPCVD設(shè)備采用915MHZ的微波頻率及50KW運(yùn)行功率,該設(shè)備單爐可生產(chǎn)8英寸多晶產(chǎn)品,若用于生產(chǎn)單晶金剛石,單爐能夠穩(wěn)定產(chǎn)出多達(dá)489 片尺寸為 7*7mm的單晶金剛石,具有高可靠性、穩(wěn)定運(yùn)行、無(wú)人值守的安全聯(lián)鎖性能,極大地提高了生產(chǎn)效率,此設(shè)備旨在解決大尺寸金剛石的生長(zhǎng)、高沉積速率的難題。 了解詳情
TFC-10800D

TFC-10800D

TFC-10800D,微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備是最先進(jìn)的 CVD系統(tǒng)。針對(duì)用戶的具體要求設(shè)計(jì)和研制的一臺(tái)多用途、高穩(wěn)定中等壓強(qiáng)微波等離子體(MPCVD)綜合設(shè)備。它具有智能化生長(zhǎng)、性能先進(jìn)、功能完善、結(jié)構(gòu)合理,使用方便、安全可靠、外形美觀等特點(diǎn),特別適合應(yīng)用于單晶和多晶金剛石膜、類金剛膜的化學(xué)汽相沉積;材料表面處理和改性;低溫氧化物的生長(zhǎng)等領(lǐng)域。 了解詳情
TFC-10800C

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TFC-6500B

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TFC-6650C

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金剛石熱沉片

金剛石熱沉片

金剛石熱沉片是繼硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵等之后的重要半導(dǎo)體材料之一,可用于重要的半導(dǎo)體器件,在生物檢測(cè)和醫(yī)療、平板顯示、環(huán)保工程、功能器件等多個(gè)高新技術(shù)領(lǐng)域都有巨大的應(yīng)用潛力。金剛石材料的熱導(dǎo)率和電學(xué)特性優(yōu)勢(shì)十分顯著,沒(méi)有任何明顯短板,其熱導(dǎo)率可達(dá)2000W/m.k,是銅、銀的5倍,又是良好的絕緣體,這也使得金剛石器件擁有更高的功率處理能力。 了解詳情
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